Эпитаксиальное наращивание кремния с уменьшенным уровнем автолегирования бором

dc.contributor.author	Земляков, А. С.
dc.contributor.author	Соловьев, Я. А.
dc.date.accessioned	2019-11-21T08:30:13Z
dc.date.available	2019-11-21T08:30:13Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.citation	Земляков А. С. Эпитаксиальное наращивание кремния с уменьшенным уровнем автолегирования бором / А. С. Землякова, Я. А. Соловьев // Новые материалы, оборудование и технологии в промышленности: материалы международной научно-технической конференции молодых ученых, Могилев, 26-27 октября 2017 г. / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. – С. 74	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/9691
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.title	Эпитаксиальное наращивание кремния с уменьшенным уровнем автолегирования бором	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	548.55