Рефлектометрия наноразмерных слоев на кремниевой подложке

Рефлектометрия наноразмерных слоев на кремниевой подложке

Примак, И. У.; Хомченко, А. В.; Казаченко, Н. И.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/11352
Дата: 2018

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Thumbnail
Имя: 176-182.pdf
Размер: 1.577Mb
Формат: PDF
Описание: Статья
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции