Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремниевой подложке при формировании 3D-структур

Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремниевой подложке при формировании 3D-структур

Ланин, В. Л.; Лаппо, А. И.; Чан, Н. Д.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/12390
Date: 2020

Show full item record

Files in this item

Icon
Name: 122-123.pdf
Size: 444.6Kb
Format: PDF
View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Search DSpace


Browse

My Account