Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремниевой подложке при формировании 3D-структур

Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремниевой подложке при формировании 3D-структур

Ланин, В. Л.; Лаппо, А. И.; Чан, Н. Д.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/12390
Дата: 2020

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Icon
Имя: 122-123.pdf
Размер: 444.6Kb
Формат: PDF
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции