Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремниевой подложке при формировании 3D-структур

dc.contributor.author	Ланин, В. Л.
dc.contributor.author	Лаппо, А. И.
dc.contributor.author	Чан, Н. Д.
dc.date.accessioned	2020-05-13T08:21:03Z
dc.date.available	2020-05-13T08:21:03Z
dc.date.issued	2020
dc.identifier.citation	Ланин В. Л. Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремниевой подложке при формировании 3D-структур / Ланин В. Л., Лаппо А. И., Чан Н. Д. // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы Международной научно-технической конференции, Могилев, 23-24 апреля 2020г. / редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред) [и др.]. – Могилев: Белорусско-Российский университет, 2020. – С. 122-123	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/12390
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.title	Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремниевой подложке при формировании 3D-структур	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	621.365 (075.6)