Оптимизация работы системы газового питания установки для нанесения тонкопленочных покрытий

Оптимизация работы системы газового питания установки для нанесения тонкопленочных покрытий

Голозубов, А. Л.; Голозубова, А. А.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/15798
Дата: 2021

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Icon
Имя: 121-122.pdf
Размер: 328.6Kb
Формат: PDF
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции