Контроль наноразмерных диэлектрических слоев на подложке методом волноводной спектроскопии

Контроль наноразмерных диэлектрических слоев на подложке методом волноводной спектроскопии

Сотский, А. Б.; Чудаковский, П. Я.; Сотская, Л. И.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/1771
Дата: 2012

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Thumbnail
Имя: Док250.pdf
Размер: 324.7Kb
Формат: PDF
Описание: тезисы
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции