Abstract:
Рассмотрены вопросы проектирования и особенности конструкции малогабаритного сканирующего электрометрического зонда, предназначенного для неразрушающего контроля дефектов поверхности полупроводниковых и наноструктурированных материалов. Повышение отношения сигнал/шум при высокоскоростном сканировании обеспечивается использованием в схеме управления приводом вибрации электрометрического зонда
интегрального драйвера пьезоэлектрического привода DRV8662 со встроенным повышающим
импульсным преобразователем напряжения. Уменьшение габаритов измерительного преобразователя обеспечило повышение пространственного разрешения при выявлении малоразмерных дефектов в соответствии с современными требованиями. Development and design of a small-sized scanning electrometric probe for
semiconductor and nanostructured materials surface defect control are discussed. Improvement in
signal-to-noise ratio is achieved by designing the vibration control system for electrometric probe on
a basis of DRV8662 piezo haptic driver with integrated boost converter. Minimization of measuring
transducer dimensions allowed improving the lateral resolution of a probe in accordance with current
requirements.
