Показать сокращенную информацию
dc.contributor.author | Стаськов, Н. И. | |
dc.contributor.author | Крекотень, Н. А. | |
dc.contributor.author | Шилов, А. В. | |
dc.date.accessioned | 2016-04-19T12:14:40Z | |
dc.date.accessioned | 2018-06-09T12:36:28Z | |
dc.date.available | 2016-04-19T12:14:40Z | |
dc.date.available | 2018-06-09T12:36:28Z | |
dc.date.issued | 2015 | |
dc.identifier.citation | Стаськов Н. И. Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем / Н. И. Стаськов, Н. А. Крекотень, А. В. Шилов // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 16-17 апреля 2015 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2015.- С. 306-307 | ru_RU |
dc.identifier.uri | http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/315 | |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
dc.subject | многоугловая эллипсометрия | ru_RU |
dc.subject | эллипсометрия | ru_RU |
dc.subject | кремниевые многослойники | ru_RU |
dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
dc.subject | Публикации кафедры "Автоматизированные системы управления" | |
dc.title | Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем | ru_RU |
dc.type | Thesis | ru_RU |