Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем

Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем

Стаськов, Н. И.; Крекотень, Н. А.; Шилов, А. В.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/315
Дата: 2015

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Thumbnail
Имя: Док83.pdf
Размер: 331.1Kb
Формат: PDF
Описание: тезисы
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции