Контроль параметров наноразмерных металлических покрытий на кремнии

Контроль параметров наноразмерных металлических покрытий на кремнии

Хомченко, А. В.; Сотский, А. Б.; Корнеева, И. А.; Парашков, С. О.; Сотская, Л. И.; Шульга, А. В.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/35113
Дата: 2012

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Icon
Имя: 219-220.pdf
Размер: 191.7Kb
Формат: PDF
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции