Многоугловая монохроматическая эллипсометрия термических диоксидных слоев на кремниевых пластинах КДБ-12

Многоугловая монохроматическая эллипсометрия термических диоксидных слоев на кремниевых пластинах КДБ-12

Стаськов, Н. И.; Парашков, С. О.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Мельников, С. А.; Шестовский, Д. В.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/47929
Date: 2026

Show full item record

Files in this item

Icon
Name: 269-270.pdf
Size: 191.6Kb
Format: PDF
View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Search DSpace


Browse

My Account