Многоугловая монохроматическая эллипсометрия термических диоксидных слоев на кремниевых пластинах КДБ-12

Многоугловая монохроматическая эллипсометрия термических диоксидных слоев на кремниевых пластинах КДБ-12

Стаськов, Н. И.; Парашков, С. О.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Мельников, С. А.; Шестовский, Д. В.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/47929
Дата: 2026

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Icon
Имя: 269-270.pdf
Размер: 191.6Kb
Формат: PDF
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции