Многоугловая монохроматическая эллипсометрия термических диоксидных слоев на кремниевых пластинах КДБ-12

Стаськов, Н. И.; Парашков, С. О.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Мельников, С. А.; Шестовский, Д. В.

Главная
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2026 (23-24 апреля)
→
Просмотр элемента

dc.contributor.author	Стаськов, Н. И.	ru
dc.contributor.author	Парашков, С. О.	ru
dc.contributor.author	Петлицкий, А. Н.	ru
dc.contributor.author	Пилипенко, В. А.	ru
dc.contributor.author	Мельников, С. А.	ru
dc.contributor.author	Шестовский, Д. В.	ru
dc.coverage.spatial	Могилев	ru
dc.date.accessioned	2026-05-12T13:53:48Z
dc.date.available	2026-05-12T13:53:48Z
dc.date.issued	2026
dc.identifier.citation	Стаськов, Н. И. Многоугловая монохроматическая эллипсометрия термических диоксидных слоев на кремниевых пластинах КДБ-12 / Н. И. Стаськов, С. О. Парашков, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, С. А. Мельников, Д. В. Шестовский // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы Междунар. науч.-техн. конф., Могилев, 23–24 апреля 2026 г. / М-во образования РБ, М-во науки и высшего образования РФ, Бел.-Рос. ун-т ;редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. – Могилев : Белорус.-Рос. ун-т, 2026. – С. 269-270.	ru
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/47929
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru
dc.title	Многоугловая монохроматическая эллипсометрия термических диоксидных слоев на кремниевых пластинах КДБ-12	ru
dc.type	Thesis	ru