Аннотации:
Освещена проблематика создания емкостных датчиков для микро- и нанопозиционирования, существующие на данный момент конструктивные решения в этой области и достигнутые в процессе опытно-конструкторской работы характеристики. This paper reveals the problem of creating capacitive sensors for micro- and nano-positioning, current constructive solutions in this field and the characteristics obtained in the process of research and development work.
