Abstract:
Освещена проблематика создания координатных устройств для микро - и нанопозиционирования в сканирующих системах на базе пьезоэлектрических актюаторов, существующие на данный момент конструктивные решения в этой области и достигнутые в процессе опытно-конструкторской работы характеристики. This paper reveals the problem of creating coordinate devices for micro- and nano-positioning in scanning systems based on piezoelectric actuators, current constructive solutions in this field and the characteristics obtained in the process of research and development work.
