Аннотации:
Описан общий принцип работы интерферометра белого света. Приводится обзор основных методов восстановления профиля поверхности по набору интерферограмм. Приводится их сравнительная характеристика. Производится моделирование набора интерференционных картин. Производится восстановление профиля поверхности по модельному набору интерференционных картин. Оцениваются погрешности рассмотренных методов, в зависимости от шумов различной природы. Described general principles of scanning white light interferometry. Common methods of profile estimation from white light interferogramms have been reviewed. Comparison of these methods has been performed. Sequence of interferogramms has been modeled. Surface profile has been restored from modeled interferogramms using every described method. Dependency of restoration error from different errors in raw data has been analized.
