Аннотации:
Представлены результаты исследования изменения волноводных свойств полупроводниковых пленок при адсорбции молекул газа на их поверхности. Для пленок из двуокиси олова промоделировано изменение оптических потерь в условиях адсорбции газа. Выполнен анализ чувствительности интегрально-оптических датчиков на основе пленок ряда оксидных полупроводников. Results of studying changes in waveguide properties of semiconductor films in the case of adsorption of gas molecules on their surface are presented. For films of tin dioxide the optical losses variation in conditions of gas adsorption are simulated. The analysis of the sensitivity of integrated optical sensors is presented.
