Abstract:
Предложен полноводный метод определения коэффициента поглощения, показателя преломления и толщины тонких пленок, основанный на регистрации угловой зависимости энергетического коэффициента отражения светового пучка в схеме призменного устройства связи. Рассмотрено применение метода для исследования характеристик тонкопленочных волноводов, диэлектрических покрытий и металлических пленок.