Рефлектометрические методы исследования наноразмерных металлических слоев на подложке

Хомченко, А. В.; Примак, И. У.; Сотский, А. Б.; Корнеева, И. А.; Крекотень, Н. А.; Петлицкий, А. Н.

Главная
→
Труды сотрудников
→
Статьи в периодических изданиях
→
Статьи в периодических изданиях Российской Федерации
→
Просмотр элемента

Рефлектометрические методы исследования наноразмерных металлических слоев на подложке

Хомченко, А. В.; Примак, И. У.; Сотский, А. Б.; Корнеева, И. А.; Крекотень, Н. А.; Петлицкий, А. Н.

URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8558

Дата: 2016

Аннотации:

Предложен новый бесконтактный метод контроля параметров наноразмерных металлических покрытий, основанный на обработке измеренной угловой зависимости коэффициента отражения поляризованного лазерного пучка от поверхности тонкопленочной структуры.

Показать полную информацию