Abstract:
Предложен критерий оптимального выбора диапазонов измерений отражательной способности призмы связи, основанный на минимизации погрешностей восстановления параметров тонких пленок методом наименьших квадратов. Эффективность критерия продемонстрирована на примере решения обратной оптической задачи для пленки SiOx, нанесенной на кремниевую подложку.
