Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния

Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния

Емельянов, В. В.; Бордусов, С. В.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8755
Дата: 2019

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Icon
Имя: 127.pdf
Размер: 254.4Kb
Формат: PDF
Описание: тезисы
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции