Понкратов, Д. В.; Пилипенко, В. А.; Стаськов, Н. И.; Петлицкий, А. Н.; Мельников, С. А.; Сотский, А. Б.; Сотская, Л. И.; Шилов, А. В.; Шестовский, Д. В.; Ponkratov, D. V.; Pilipenko, V. A.; Staskov, N. I.; Pyatlitsky, A. N.; Melnikov, S. A.; Sotsky, A. B.; Sotskaya, L. I.; Shilov, A. V.; Shestovsky, D. V.
(БГУ, 2025)
В результате термического отжига на поверхности полупроводниковой пластины образуется неоднородный слой, состоящий из ультратонкого контактного слоя, оксидного слоя и поверхностного слоя. Предложена функция, которая ...