Характеристики пленок SiOF, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из кварца

Характеристики пленок SiOF, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из кварца

Гиль, Г. С.; Филимонов, Н. С.; Юшкевич, С. А.; Телеш, Е. В.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/9681
Date: 2017

Show full item record

Files in this item

Icon
Name: 46.pdf
Size: 322.1Kb
Format: PDF
Description: Тезисы
View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Search DSpace


Browse

My Account