Характеристики пленок SiOF, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из кварца

Характеристики пленок SiOF, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из кварца

Гиль, Г. С.; Филимонов, Н. С.; Юшкевич, С. А.; Телеш, Е. В.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/9681
Дата: 2017

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Icon
Имя: 46.pdf
Размер: 322.1Kb
Формат: PDF
Описание: Тезисы
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции